干式真空泵是指泵在正常壓力下可以啟動泵送，泵送的氣體可以直接排入大氣。機械真空泵，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，壓力等于或接近油封真空泵。
對于普通的無油真空系統(tǒng)，雖然可以使用油封真空泵和附件來防止回流，但它們不能完全解決問題并使系統(tǒng)復(fù)雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達到預(yù)期效果。
干式真空泵應(yīng)用廣泛，主要有以下幾個方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備工藝；
2、半導(dǎo)體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)過程中，經(jīng)常使用干式真空泵或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨料顆粒；
3、對于除半導(dǎo)體工藝外產(chǎn)生顆粒的某些工藝，預(yù)計顆粒不會混合到干式真空泵的泵油中，預(yù)計顆粒將從泵中排出。某些型號的干式機械真空泵可以滿足要求；
4、化工、制藥、食品等行業(yè)在蒸餾、干燥、脫氣和包裝過程中，應(yīng)防止有機溶劑造成的污染，并應(yīng)使用干式真空泵；
5、干式真空泵用作一般無油清潔真空系統(tǒng)的前泵，以防止油污染。 |