真空泵超高真空系統(tǒng)用泵的選擇是重要的。表明超高真空泵應(yīng)靠提供高的抽速(低的Q/S)并且減小由泵到真空室的返流(小的Po)來(lái)降低壓強(qiáng)。這里，返流被定義為由泵到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣流。對(duì)超高真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，減少來(lái)自泵的污染的目的是同其它任何真空系統(tǒng)一樣的，只是超高真空系統(tǒng)中極限壓強(qiáng)和所容許的污染程度更低罷了。為了降低污染程度，必須嚴(yán)格遵守正確的抽氣步驟。變暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內(nèi)就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去。雖然重新降溫會(huì)阻止進(jìn)一步污染，但事故中已擴(kuò)散到清潔區(qū)域內(nèi)的蒸氣是無(wú)法再除掉了。在高真空范圍內(nèi)是無(wú)關(guān)緊要的事故會(huì)破壞低壓強(qiáng)下所作的實(shí)驗(yàn)的真實(shí)性。每種類型的泵本身都具有它所特有的不能抽走而作為雜質(zhì)存在的氣體和蒸氣物質(zhì)。所以，一些泵和阱的聯(lián)合使用能在盡量減小返流的同時(shí)對(duì)所有的氣體都提供足移的抽速。擴(kuò)散泵常與鈦升華阱聯(lián)用，低溫冷凝泵和升華泵常與離子泵聯(lián)用，而渦輪分子泵常輔以升華器。一般來(lái)說(shuō)，沒(méi)有兩類超高真空系統(tǒng)會(huì)采用相同的泵的組合方案。雖然可以買到商用抽氣系統(tǒng)，但對(duì)超高真空應(yīng)用來(lái)說(shuō)，通常是按其特殊要求來(lái)進(jìn)行泵的設(shè)計(jì)和選擇的。至今，在選擇超高真空泵時(shí)仍保留了靠“優(yōu)選”解決的簡(jiǎn)單技藝。
真空泵JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組特點(diǎn):
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵，因此羅茨泵-旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆炸性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)。
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組概述:
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組是以羅茨泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。羅茨旋片真空機(jī)組選用旋片 真空機(jī)組選用旋片泵作為前級(jí)泵，它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，JZJX羅茨旋片真空機(jī)組有較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。
真空泵JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組的用途:
羅茨泵-JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆炸性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、
與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)。
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組組使用范Χ:
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組抽氣速率：30~1200L/S(升/秒)
JZX羅茨旋片泵真空機(jī)組極限壓強(qiáng)：0.05Pa(帕)
氣體類型：常溫?zé)o其它混合物的清潔空氣，不允許有含其它粉塵及水分的空氣。
工作要求：進(jìn)口壓強(qiáng)在大于6500Pa時(shí)連續(xù)工作時(shí)間，允許長(zhǎng)時(shí)期連續(xù)工作。
真空泵JZJX系列羅茨旋片真空機(jī)組適用于抽吸空氣及其它無(wú)可凝性、無(wú)腐蝕性的氣體，廣泛應(yīng)用于需要大抽速和需要獲得低、高真空的各種真空系統(tǒng)。例如：真空冶煉、鋼液脫氣、真空燒結(jié)、大型空間模擬試驗(yàn)中的動(dòng)態(tài)真空的獲得，電力電容器、變壓器真空浸漬處理，日光燈管、燈泡自動(dòng)生產(chǎn)線上的排氣，保溫瓶膽的連續(xù)排氣，真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽，鎂還原過(guò)程中的抽氣，單晶硅提煉過(guò)程中的除氣等 |