關(guān)鍵詞：浮分子泵
磁懸浮分子泵國(guó)產(chǎn)化及系列化一直是國(guó)內(nèi)面臨的難題。近日，天津飛旋科技研發(fā)有限公司研發(fā)出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的兩款磁懸浮分子泵，經(jīng)技術(shù)鑒定被認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)。這在填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域空白的同時(shí)，也為產(chǎn)業(yè)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
磁懸浮分子泵應(yīng)用范圍廣泛。據(jù)天津飛旋科技研發(fā)有限公司副總經(jīng)理蔣穎介紹，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線、真空鍍膜生產(chǎn)線、高檔汽車后視鏡鍍膜生產(chǎn)線等領(lǐng)域都有著廣闊的市場(chǎng)前景。
由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無摩擦、高效率、高精度、長(zhǎng)壽命、低噪音、無油污等突出優(yōu)點(diǎn)，一旦實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，將成為能源、節(jié)能減排、真空機(jī)械等重大戰(zhàn)略領(lǐng)域的核心技術(shù)。不過，由于國(guó)內(nèi)磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚，將磁軸承技術(shù)應(yīng)用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。
蔣穎表示，正是意識(shí)到這一問題后，位于天津開發(fā)區(qū)的天津飛旋科技研發(fā)有限公司以此為科技攻關(guān)點(diǎn)，經(jīng)過多年的不懈努力，磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對(duì)復(fù)合分子泵的工作原理，研發(fā)出了適合復(fù)合分子泵用的磁懸浮高速電機(jī)，最后將兩者結(jié)合起來，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)磁懸浮復(fù)合分子泵，并探索實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。
針對(duì)這一科技創(chuàng)新成果，天津市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化中心出具的鑒定結(jié)論認(rèn)為，該成果在磁懸浮分子泵領(lǐng)域徹底打破國(guó)外的技術(shù)壟斷，提高了國(guó)內(nèi)真空分子泵的技術(shù)水平，推動(dòng)分子泵產(chǎn)品向高端應(yīng)用發(fā)展，同時(shí)也為磁懸浮軸承的工業(yè)化進(jìn)展開拓探索一條技術(shù)開發(fā)路線，為進(jìn)一步推廣磁懸浮軸承大規(guī)模應(yīng)用提供了實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。
為支持該技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化，去年以來，飛旋科技獲得了天津市科委科技支撐計(jì)劃２００萬元的支持。同時(shí)，公司所在地天津開發(fā)區(qū)通過項(xiàng)目配套、研發(fā)費(fèi)扶持、廠房建設(shè)及電力增容扶持等多種方式也給予支持。到目前，飛旋科技已生產(chǎn)真空分子泵５０臺(tái)，總產(chǎn)值近１５００萬元。更大規(guī)模的磁懸浮軸承技術(shù)應(yīng)用也已納入計(jì)劃中。 |